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DANAHER S20660-SRS 模块 产品信息
产品名称: DANAHER S20660-SRS 光谱分析仪模块
产品描述:
DANAHER S20660-SRS 是一款用于半导体制造过程中的光谱分析的高性能模块。该模块具有以下特点：
- 测量范围：185-800 nm
- 分辨率：0.1 nm
- 灵敏度：<1 ppm
- 信噪比：>1000:1
- 工作温度：0-50℃
- 工作湿度：≤95%RH
- 供电电压：220V AC/50Hz
- 外形尺寸：420mm×300mm×180mm
- 重量：约8kg
- 显示屏：液晶显示屏
- 连接接口：RS485通讯接口
- 安装方式：壁挂式
该模块可用于各种半导体制造应用，包括：
- 硅晶生长：监测硅晶生长过程中的杂质含量，控制晶体质量。
- 扩散工艺：监测扩散工艺中的掺杂剂浓度，控制器件性能。
- 薄膜沉积：监测薄膜沉积过程中的薄膜厚度和成分，控制器件性能。
- 光刻工艺：监测光刻工艺中的光致抗蚀剂的厚度和均匀性，控制器件尺寸。
- 封装工艺：监测封装工艺中的材料成分，确保封装质量。
产品参数:
| 参数 | 值 | 单位 |
|---|---|---|
| 测量范围 | 185-800 nm | |
| 分辨率 | 0.1 nm | |
| 灵敏度 | <1 ppm |
