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MKS RPS AX7695 模块是一种集成式的远程等离子体源，主要用于半导体制造工艺中的等离子体处理。它将石英真空腔、射频电源和所有必要的控制集成在一个紧凑的单元中，可以直接安装在工具的工艺腔室上，提供一种极清洁、低成本的原子自由基源，以实现所需的反应。
产品参数
- 类型： 远程等离子体源
点火气体供应： 100% O2或Ar，或90% O2/10% N2
- 工艺气体供应： 最高6.0 slm的100% O2或90% O2/10% N2
- 工作压力： 0.5 - 2.0 Torr @ 1.0 - 6.0 slm
- 输出： 最高6 slm自由基
- 输入： 等离子体开/关，功率设置
- 输出： 等离子体状态信号，故障信号
产品规格
- 尺寸： 紧凑型设计，适合安装在工具工艺腔室上
- 重量： 轻便设计，易于安装和维护
