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- LAM 719-101612-887模块可能是LAM Research Corporation生产的一种静电吸盘（ESC）部件1。
- 静电吸盘（ESC）部件通常用于半导体晶片蚀刻和灰化设备中，通过静电场夹持晶片以实现精确对准和加工1。
- 该模块可能具有高夹持力、均匀静电场、低颗粒生成量等特点，能够确保晶片的安全夹持、精确对准和清洁处理1。
产品参数
- 零件编号：719-101612-887
- 产品类型：静电卡盘（ESC）元件
- 产品品牌：LAM Research Corporation
- 制造商：LAM Research Corporation
- 卡盘尺寸：未明确给出，但类似的LAM产品如LAM 839-101612-887具有200mm的卡盘尺寸1。
- 电压范围：未明确给出，但类似的LAM产品电压范围可能为0-1000V1。
- 电流容量：未明确给出，但类似的LAM产品电流容量可能为10A1。
- 真空兼容性：是
- 冷却剂兼容性：是
