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AMAT 0010-27983 加热器

产品名称:AMAT 0010-27983 300MM MCA E-CHUCK ESC 加热器AMAT 0010-27983 300MM MCA 静电吸盘 ESC

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

产品名称:

  • AMAT 0010-27983 300MM MCA E-CHUCK ESC 加热器
  • AMAT 0010-27983 300MM MCA 静电吸盘 ESC 加热器

产品描述:

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  • 该模块是应用于半导体制造业的300mm MCA静电吸盘(E-CHUCK ESC)加热器。
  • 它被设计用于半导体制造工艺中,为硅晶圆提供精确的加热和温度控制。
  • 静电吸盘在半导体制造设备中用于固定和控制硅晶圆。
  • 该加热器是静电吸盘组件中的一个关键部分,对半导体生产工艺的准确性至关重要。
  • 该组件被应用于半导体生产设备中。

产品参数和规格:

  • 类型:300MM MCA 静电吸盘 ESC 加热器
  • 应用:半导体制造
  • 尺寸:135 x 186 x 119 mm
  • 重量:1.2 kg
  • 制造商:AMAT(应用材料公司)
  • 一些销售平台显示,此部件为全新原装。
  • 此部件被应用于300mm的晶圆生产设备中。



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