产品名称:
- AMAT 0010-27983 300MM MCA E-CHUCK ESC 加热器
- AMAT 0010-27983 300MM MCA 静电吸盘 ESC 加热器
产品描述:
- 该模块是应用于半导体制造业的300mm MCA静电吸盘(E-CHUCK ESC)加热器。
- 它被设计用于半导体制造工艺中,为硅晶圆提供精确的加热和温度控制。
- 静电吸盘在半导体制造设备中用于固定和控制硅晶圆。
- 该加热器是静电吸盘组件中的一个关键部分,对半导体生产工艺的准确性至关重要。
- 该组件被应用于半导体生产设备中。
产品参数和规格:
- 类型:300MM MCA 静电吸盘 ESC 加热器
- 应用:半导体制造
- 尺寸:135 x 186 x 119 mm
- 重量:1.2 kg
- 制造商:AMAT(应用材料公司)
- 一些销售平台显示,此部件为全新原装。
- 此部件被应用于300mm的晶圆生产设备中。