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产品描述:
MKS RPS AX7695 是一款由 MKS Instruments 公司生产的 远程等离子源 (RPS) 模块。它是 MKS R*evolution III 系列产品之一，主要用于各种需要精确控制等离子体的应用，例如半导体制造、薄膜沉积、表面处理等。该模块能够产生高密度、均匀的等离子体，并具有多种控制功能，可以满足不同的工艺需求。
产品参数:
由于缺乏公开的详细规格书，以下是一些可能的产品参数，具体参数需要参考 MKS 官方文档或咨询相关人员：
- 型号: AX7695
- 类型: 远程等离子源 (RPS) 模块
