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产品概述
AE APEX3013 3156114-746 模块是由Advanced Energy公司生产的一款高频射频发生器。它广泛应用于半导体制造、平板显示等领域，用于提供高纯度、高稳定性的射频功率，以驱动等离子体过程。
产品特点
- 高功率密度: 在紧凑的体积内提供高功率输出，适用于空间有限的应用。
- 高稳定性: 输出功率稳定，频率精度高，确保工艺过程的重复性。
灵活配置: 可以通过软件进行灵活配置，适应不同的工艺需求。
- 多种接口: 提供多种通信接口，方便与其他设备集成。
产品应用
- 半导体制造: 用于等离子体刻蚀、薄膜沉积等工艺。
- 平板显示: 用于液晶面板、OLED面板的制造。
- 太阳能电池: 用于太阳能电池的制造。
