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MKS RPS AX7695 模块是一款由MKS Instruments公司生产的高性能远程等离子体源。它广泛应用于半导体制造、平板显示等领域，用于对晶圆等材料进行表面处理，以改善其性能和特性。
产品参数及规格
- 型号: AX7695
- 类型: 远程等离子体源
- 功能: 在晶圆等材料表面产生等离子体，用于清洗、刻蚀、沉积等工艺
特点: 高密度等离子体、均匀性好、可调性强
- 应用: 半导体制造、平板显示等
具体参数规格请参考MKS官方提供的产品数据手册，因为不同型号或定制版本可能会有细微差异。
产品特点
- 高密度等离子体: 产生高密度等离子体，提高处理效率。
- 均匀性好: 等离子体分布均匀，保证处理效果的一致性。
