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MKS RPS AX7695 模块是一款远程等离子体源，主要用于半导体制造过程中薄膜沉积、刻蚀等工艺。它能够产生高密度、高纯度的等离子体，以实现对材料的精确处理。
产品描述
AX7695 模块将等离子体源与射频发生器集成在一起，形成一个紧凑、高效的系统。它通过射频功率激发等离子体，并利用磁场来控制等离子体的形状和分布。该模块通常安装在半导体加工设备中，与其他工艺设备配合使用。
产品参数及规格（典型值，具体参数以官方数据为准）
- 类型: 远程等离子体源
- 工作频率: 射频
- 等离子体类型: 高密度等离子体
- 冷却方式: 水冷
接口: 气体管路、电源接口、控制接口
- 应用: 薄膜沉积、刻蚀、表面处理
产品特点
- 高密度等离子体: 提供高密度等离子体，实现快速、均匀的处理。
- 灵活配置: 可根据工艺需求定制配置。
- 可靠性高: 设计用于工业环境，具有较高的可靠性。
