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- 产品名称： Brooks Automation 001-4130-03 晶圆对准控制器
- 产品描述： Brooks Automation 001-4130-03 是一款用于半导体制造过程中晶圆对准的控制器。它通过精确控制晶圆的移动和旋转，确保晶圆与掩模或其他器件对齐，从而实现后续的微细加工。
产品参数及规格
由于 Brooks Automation 产品的详细信息通常属于商业机密，且产品型号众多，具体参数可能会因不同的配置和应用而有所差异。一般来说，该型号的控制器具有以下主要特点：
- 高精度： 能够实现纳米级的对准精度，满足现代半导体制造的高精度要求。
- 高速： 处理速度快，能够满足高产量的生产需求。
- 灵活配置： 可根据不同的工艺要求进行灵活配置。
- 可靠性高： 采用工业级设计，具有很高的可靠性。
