全国服务热线
MECS UTX1000 是一款专用于半导体制造行业的自动化设备，主要用于晶圆的搬运、转移和定位。它是一种高精度、高可靠性的机械手，广泛应用于晶圆制造过程中的各个环节，例如晶圆的加载、卸载、传输等。
主要功能：
- 晶圆搬运： 精准地抓取和放置晶圆，确保晶圆在搬运过程中的安全性和完整性。
- 高精度定位： 实现晶圆的高精度定位，满足半导体制造对位置精度的苛刻要求。
- 自动化操作： 通过编程控制，实现晶圆搬运的全自动化，提高生产效率。
- 兼容性强： 可与多种类型的晶圆处理设备兼容。
产品参数（具体参数请参考产品数据手册）：
- 负载能力： 根据型号不同，负载能力有所差异，一般可承载不同尺寸的晶圆。
- 重复定位精度： 高精度，可达到微米级。
- 工作速度： 快速，能够满足高产量的生产需求。
- 工作范围： 根据型号不同，工作范围有所差异。
- 接口： 提供多种接口，方便与其他设备连接。
