AMAT 0010-27983 模块是应用材料公司(Applied Materials)为300毫米电容式夹持器(E-Chuck)设计的加热器。它在半导体制造过程中扮演着关键角色,用于对晶圆进行精确的温度控制,以确保工艺的成功。
主要功能:
- 为300mm电容式夹持器提供加热。
- 确保晶圆在加工过程中的温度稳定。
- 提高工艺的良率。
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AMAT 0010-27983 模块是应用材料公司(Applied Materials)为300毫米电容式夹持器(E-Chuck)设计的加热器。它在半导体制造过
AMAT 0010-27983 模块是应用材料公司(Applied Materials)为300毫米电容式夹持器(E-Chuck)设计的加热器。它在半导体制造过程中扮演着关键角色,用于对晶圆进行精确的温度控制,以确保工艺的成功。
主要功能: