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产品描述：
- 该模块是一款高性能射频发生器，由 Advanced Energy 公司生产。
- 该设备以其高功率密度和一致的电力输送而闻名，适用于多种工业应用。
- 主要用于提供等离子体源，适用于蚀刻、沉积和其他基于等离子体的制造工艺。
- 该设备拥有高功率密度流线型设计。
- 拥有多种安装方式，例如：板载腔体安装，工具框架安装，机架安装，鞋盒式安装。
- 宽带控制环路。
产品参数和规格：
- 输出频率：13.56 MHz
- 输入电压：208 VAC
- 功率级别：1.5 至 10 kW
- 机架宽度：1/2 机架和全机架
- 高度：3U
- 冷却方式：水冷
- 通讯接口：RS-232, 模拟, 以太网, DeviceNet
- 高级特性：脉冲, CEX
