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AE APEX3013 3156114-746 是一款由Advanced Energy公司生产的高频射频发生器。它广泛应用于半导体制造、平板显示、太阳能电池等领域，为等离子体处理过程提供高功率、高稳定性的射频能量。
产品特点
- 高功率密度: 在紧凑的体积内提供高功率输出，适用于空间有限的应用场景。
- 稳定性高: 具有出色的频率稳定性和功率稳定性，保证工艺的一致性。
- 灵活配置: 可通过软件进行灵活配置，适应不同的工艺需求。
- 易于操作: 人机界面友好，操作简单。
- 可靠性高: 采用先进的电子元件和散热设计，确保设备的长期可靠运行。
产品参数（典型值，具体参数以产品手册为准）
- 输出频率: 13.56 MHz
- 输出功率: 具体功率值取决于型号，可达数千瓦
- 匹配网络: 内置匹配网络，实现负载匹配
- 冷却方式: 水冷
- 控制接口: RS-232, Ethernet, Analog等
