Agilent HP 5517B 是一款高精度的激光头模块,通常作为激光干涉仪系统的一部分,用于精密测量。它能够将激光束的相位变化转化为精确的位移测量,广泛应用于半导体制造、精密机械加工、计量等领域。
产品名称及型号含义
- Agilent HP: 产品品牌,Agilent Technologies(安捷伦科技)是全球领先的测量仪器公司。
- 5517B: 产品型号,代表该激光头模块的具体规格和性能。
产品描述
5517B 激光头模块的核心部件是氦氖激光器,它发出高度稳定的单色光。激光束经过一系列光学元件后,照射到被测物体上,反射光与参考光发生干涉,产生的干涉条纹被光电探测器接收。通过分析干涉条纹的相位变化,可以精确计算出被测物体的位移。
产品特点
- 高精度: 测量精度可达纳米级,适用于对精度要求极高的应用。
- 高稳定性: 激光器输出稳定,不受环境温度和振动的影响。
- 宽测量范围: 可测量大范围的位移。
模块化设计: 易于集成到各种测量系统中。
产品参数(典型值)
- 激光波长: 632.8nm
- 输出功率: 1mW
- 测量范围: ±10mm
- 分辨率: 1nm
- 线性度: ±0.5μm/m
- 重复性: ±0.1μm
产品规格
- 工作温度: 15℃~35℃
- 相对湿度: 20%~80%
- 尺寸: 约200mm x 150mm x 100mm
- 重量: 约2kg
应用领域
- 半导体制造: 晶圆对准、刻蚀、薄膜沉积等
- 精密机械加工: 数控机床、精密测量仪器
- 计量: 长度计量、角度测量
- 科研: 光学实验、物理实验