LAM 810-495659-304 模块是LAM Research公司生产的一款用于半导体制造设备的BICEP ESC电源供应板。它为设备中的关键组件提供稳定可靠的电力供应,是保证设备正常运行的重要组成部分。
产品名称
- 中文名称: LAM BICEP ESC电源供应板
- 英文名称: LAM BICEP ESC Power Supply Board
- 型号: 810-495659-304
产品描述
- 功能: 为设备中的电子控制系统(ESC)提供所需的电压和电流。
- 组成: 该模块通常包含多个电源转换电路、保护电路和监控电路。
- 应用: 主要应用于半导体制造设备中,为蚀刻、沉积等工艺提供电源支持。