AMAT 0190-72680 模块是应用材料(AMAT)公司生产的一款用于半导体制造设备的真空测量组件。根据型号和AMAT公司的产品线,结合已有的公开信息,我们可以推测该模块主要用于测量设备腔室内的真空度。
产品名称及描述
- 中文产品名称: AMAT 10Torr 电容式真空计
- 产品描述: 该模块是一种电容式真空计,主要用于测量10Torr(约1.33kPa)左右的低真空范围。它通常安装在半导体制造设备的腔室中,用于监测和控制腔室内的真空度,以保证工艺的正常进行。
产品参数及规格(推测)
由于缺乏官方数据,以下参数规格仅为基于一般知识和行业惯例的推测,并结合已有的产品信息进行推断:
- 测量范围: 10Torr左右
- 精度: 高精度,以满足半导体制造对真空度测量的高要求
- 响应速度: 快速响应,以实时监测真空度的变化
- 接口: 与设备其他模块的接口,可能包括数字接口、模拟接口等
- 电源: 工作电源电压和电流