AMAT BCG450-SD 353-557 模块,通常是应用材料公司(Applied Materials)生产的真空测量仪器中的一个重要组件。它是一款高精度、宽量程的真空规,主要用于半导体制造、薄膜沉积等领域,对真空度进行精确测量。
产品名称
AMAT BCG450-SD 三合一真空规 或 应用材料 BCG450-SD 真空传感器
产品描述
BCG450-SD 是一款三合一真空规,这意味着它可以测量从大气压到超高真空的极宽压力范围。该模块通常集成在一个真空腔体中,用于监测真空腔内的压力变化,确保工艺过程的稳定性和可靠性。
主要功能
- 真空度测量: 高精度测量真空腔内的压力,提供实时数据。
- 宽量程: 覆盖从大气压到超高真空的广泛压力范围。
- 快速响应: 能够快速响应压力变化,确保过程控制的及时性。
- 高可靠性: 在恶劣的工业环境下能够稳定工作。
产品参数(部分)
- 测量范围: 大气压至超高真空
- 精度: 高精度测量
- 响应时间: 快速响应
- 输出信号: 通常为模拟信号或数字信号,可配置
- 接口: 可连接各种控制系统