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NOR-CAL ESVP-1502-NWB-5 模块是一种用于真空系统的精密截止阀模块。它具有以下特点：
- 高真空兼容性：可提供高达 10^{-9} Torr 的真空度
- 快速响应时间：开关时间小于 100 毫秒
- 低泄漏率：泄漏率小于 10^{-10} Torr L/s
- 长使用寿命：平均寿命超过 100 万次循环
- 易于安装和维护
产品参数:
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 口径 | DN 15 (½ 英寸) |
| 材质 | 不锈钢 |
| 致动器类型 | 电磁阀 |
| 电源电压 | 24 VDC |
| 功耗 | 10 W |
| 最大真空度 | 10^{-9} Torr |
| 开关时间 | < 100 毫秒 |
| 泄漏率 | < 10^{-10} Torr L/s |
| 使用寿命 | > 100 万次循环 |
| 尺寸 | 89 mm x 31 mm x 25 mm |
