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ZYGO 7714 测量系统

ZYGO7714

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

产品描述: ZYGO 7714 干涉测量系统是一种高精度、非接触式表面测量系统,用于测量各种光学表面形状和粗糙度。该系统具有以下特点:

  • 高精度:测量精度可达纳米级
  • GE IS200AEADH4ADA (1).jpg


  • 非接触式:不会损坏被测表面
  • 快速测量:测量速度快,可实现实时测量
  • 多种测量模式:支持表面形状、粗糙度、台阶高度等测量

产品参数:


GE IC698RMX016 VMIVME-5567-100 (3).jpg

参数
光源氦氖激光
波长633 nm
数值孔径0.45
视场范围7.5 mm x 5.6 mm
最大测量高度100 μm
最大测量斜率70°
测量精度0.1 nm RMS
测量速度100 Hz



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