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LAM 839-101612-885 是一款用于半导体制造设备的 ESC CHUCK 模块。它用于将晶圆固定在抛光或蚀刻等工艺过程中。该模块具有以下特点：
LAM 839-101612-885 模块适用于各种半导体制造应用，包括：
产品参数:
| 参数 | 值 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 12 英寸 |
| 夹持力 | 可调节 |
| 重复性 | < 5 微米 |
| 循环寿命 | > 100,000 次循环 |
| 标准 | SEMI S2 |
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