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- 模块是应用材料公司（AMAT）半导体制造设备中的一个组件。
- 应用材料公司是全球领先的半导体、显示器和太阳能光伏设备供应商。
- 根据搜索结果，该模块与“加热器基座”（HEATER PEDESTAL）相关。
- 该模块被应用于半导体制造设备中。
- 产品参数/规格：
- 由于半导体制造设备的性质，详细的规格通常包含在应用材料公司的专有文档中。
- 根据搜索结果，该模块与“加热器基座”相关，因此可能涉及以下参数：
- 温度控制范围。
- 加热功率。
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