AMAT 0010-27983

AMAT 0010-27983 PIB HTB2 MCA ESC 加热器产品描述：AMAT 0010-27983 是一款专为半导体制造设计的 300mm MCA

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

- AMAT 0010-27983 PIB HTB2 MCA ESC 加热器
产品描述：
- AMAT 0010-27983 是一款专为半导体制造设计的 300mm MCA E-CHUCK ESC 加热器。
- 它在晶圆处理过程中起着至关重要的作用，通过控制和保持静电卡盘（ESC）的温度，确保精确加热，从而实现一致的晶圆质量。
- 该模块用于半导体制造过程中的晶圆处理。
产品参数和规格：
- 类型：300MM MCA E-CHUCK ESC 加热器。
- 尺寸：135 x 186 x 119 mm。
- 重量：1.2 kg。
- 应用：半导体制造。
- 功能：在晶圆处理过程中加热和调节 ESC 温度。

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