全国服务热线
MKS RPS AX7695 模块是一款由MKS Instruments公司生产的远程等离子体源。它主要用于半导体制造过程中对晶圆表面进行等离子体处理，以实现清洗、刻蚀、沉积等工艺。
产品名称及型号
- 产品名称： 远程等离子体源
- 型号： AX7695
AX7695 模块是一种集成式的远程等离子体源，它将等离子体发生器和等离子体喷嘴集成在一个紧凑的模块中。该模块可以产生高密度、均匀的等离子体，并通过喷嘴将等离子体射向晶圆表面，实现对晶圆的精确处理。
产品参数及规格（典型配置）
- 等离子体类型： 冷等离子体
- 气体类型： 支持多种气体，如氩气、氧气、氮气等
- 功率： 可调节的射频功率
- 流量： 可调节的气体流量
- 频率： 射频频率
- 接口： 模拟量输入输出、数字量输入输出、通讯接口
