- MKS AX7695 模块是 R*evolution® III 集成远程等离子体源，为半导体晶圆加工提供所需的活性气体。
- 它集成了石英真空室，用于产生等离子体。
- 主要用于半导体晶圆加工中的反应气体供应。
- 主要用途为半导体晶圆加工中，提供反应气体。
主要特点：
- 远程等离子体源。
- 用于半导体晶圆加工。
- 集成石英真空室。
- 提供反应气体。
进口品牌控制系统备件DCS系统，机器人系统、大型进口伺服控制系统
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MKS AX7695 模块是 R*evolution® III 集成远程等离子体源，为半导体晶圆加工提供所需的活性气体。它集成了石英真空室，用于产生等离子体。主
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