全国服务热线
ASTEX AX8200A 0190-09437 模块是一款高浓度臭氧发生器，主要用于半导体制造等领域，为各种工艺提供高纯度的臭氧气体。它通常集成在半导体设备中，用于表面清洁、去除有机物等。
产品描述
该模块采用先进的放电技术，能高效产生高浓度的臭氧气体。其主要功能包括：
- 臭氧生成: 通过高频放电的方式将氧气转化为臭氧。
流量控制: 可以调节臭氧的输出流量。
- 浓度控制: 可以控制输出臭氧的浓度。
- 安全保护: 具有过压、过流等多种保护功能，确保设备安全运行。
产品参数与规格
| 参数 | 典型值 | 单位 |
|---|---|---|
| 臭氧输出浓度 | 10-90% | % |
| 臭氧输出流量 | 0-1000 | sccm |
| 工作电压 | 110/220 | V |
| 工作频率 | 5-10 | kHz |
| 尺寸 | 200x300x400 | mm |
| 重量 | 10 | kg |
