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MKS RPS AX7695 模块是一款由MKS Instruments公司生产的高频远程等离子体源。它广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、表面处理等领域，用于产生高密度、高纯度的等离子体，以实现对材料的蚀刻、清洗、改性等目的。
产品名称含义
MKS: MKS Instruments，一家专注于先进材料加工过程控制的全球领先企业。
- RPS: Remote Plasma Source，即远程等离子体源。
- AX7695: 产品型号，代表其特定的规格和功能。
产品特点
- 高密度等离子体: 能产生高密度、均匀的等离子体，适用于各种材料的处理。
- 远程耦合: 等离子体源与处理腔室分离，避免了对样品的污染。
- 高频率: 高频工作，提高了等离子体的稳定性和均匀性。
- 可定制性: 可以根据不同的工艺需求定制各种参数。
