AMAT 0190-35874 模块是由应用材料公司(Applied Materials, Inc.,简称AMAT)生产的用于半导体制造过程中的臭氧控制器。它主要用于控制和监测半导体生产过程中使用的臭氧气体的浓度、流量等参数,以确保工艺的稳定性和产品质量。
产品描述
- 臭氧控制器: 该模块专门为控制臭氧气体而设计,是半导体制造设备中的重要组成部分。
- 多通道RS232接口: 通常具有多个RS232接口,可以连接不同的设备或传感器。
- 精确控制: 通过控制臭氧发生器等设备,实现对臭氧气体的精确控制。
- 可靠性高: 适用于半导体制造这种对设备可靠性要求极高的环境。